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干式真空泵日常維修及保養(yǎng)注意事項
對于整個真空泵行業(yè)來說，在未來干式真空泵 將成為行業(yè)發(fā)展的主流趨勢，雖然現(xiàn)在用的還不多，除了價格高原因外，還有用戶對干式真空泵的了解不到位，看不到帶
濟效益，下面小編就來給大家介紹一下干式真空泵維修和保養(yǎng)。
對于這些不同類型的干式真空泵，我們都渴望能夠?qū)⑵湮锢沓叽鐪p小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾，因為真空泵的抽氣速率與真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。當(dāng)然，還有一個影
速率的重要因素，那就是轉(zhuǎn)速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配，就需要提高它的轉(zhuǎn)速。真空泵維修保養(yǎng)非常重要。而想要改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法，一是改變
采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動比。其中，采用變頻器的好處是可以提供一個閉環(huán)控制，但在大負(fù)載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動比是一種非常經(jīng)濟的方法，當(dāng)然，它只能提供不可控
現(xiàn)在，可以看到干式真空泵有著如此多的不同設(shè)計，它們各自有著自己的特性和優(yōu)缺點。一直以來，使用成本是一個影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶意識到也應(yīng)該將真空泵運行
去。因為真空泵的意外出錯會引起機器的使用效率降低，影響到晶圓的生產(chǎn)和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報廢和機器其它部件的損壞。由于螺桿式設(shè)計為單級設(shè)計，同多級泵如圓裂片式，爪式以及
在零件的使用數(shù)量上減少了60%。這使得其在穩(wěn)定性和將來的維修成本上有很大的優(yōu)勢。
綜合考慮，如果用戶認(rèn)為耗電量對他來說*為重要而氮氣用量對他來說*不重要，那么選擇內(nèi)部壓縮型螺桿式可以是一個好的選擇。但普遍說來，對尾氣處理越來越嚴(yán)格的要求使得將來對減少氮氣的用量
果你希望用單一類型的泵不經(jīng)過改變來處理各種不同的半導(dǎo)體工藝，而使得你的庫存控制簡單化，那么外部壓縮型螺桿式是你*好的選擇。

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羅茨真空泵（簡稱：羅茨泵）是指泵內(nèi)裝有兩個相反方向同步旋轉(zhuǎn)的葉形轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁間有細(xì)小間隙而互不接觸的一種變?nèi)菡婵毡谩?br />羅茨真空泵在石油、化工、塑料、農(nóng)yao、汽輪機轉(zhuǎn)子動平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長期運行的考驗，所以應(yīng)該在國內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。同時也廣泛用于石油、化工、冶金、紡織等工業(yè)。真空泵配件作為真空泵消yin器，用于真空泵的噪聲治理。

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真空泵常用性能參數(shù)詳注

1．抽氣速率(體積流率)(s單位：m3·min-1、m3·s-1、L·s-1)

當(dāng)泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗罩并按規(guī)定條件工作時，從試驗罩流過的氣體流量與在試驗罩上指ding位置測得的平衡壓力之比。簡稱泵的抽速。即在一定的壓力、溫度下，真空泵在單位時間內(nèi)從被抽容器中抽走的氣體體積。

2．極限壓力（極限真空）（單位：Pa/MPa/mmHg）

泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的低壓力。即真空泵的入口端經(jīng)過充分抽氣后所能達到的低的穩(wěn)定的壓力。

3．起動壓力

泵無損壞起動并有抽氣作用的壓力

4．前級壓力

排氣壓力低于一個大氣壓力的真空泵的出口壓力。

5．大前級壓力

超過了能使泵損壞的前級壓力。

6．大工作壓力

對應(yīng)大抽氣量的入口壓力。在此壓力下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞·

7．抽氣量（Q單位：Pa·m3·S-1；Pa·L·S-1）

流經(jīng)泵入口的氣體流量。

8．壓縮比

泵對給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。

綜上所述：真空泵的抽氣速率和極限壓力兩個參量是在實際應(yīng)用中選配真空泵的重要的參量。